مولد أوزون 10 كجم/ساعة لتنظيف أشباه الموصلات
يهدف البحث والتطوير لهذه المعدات إلى حل مشاكل درجة الحرارة المحلية المفرطة أثناء تشغيل معدات الأوزون التقليدية، وإنتاج الأوزون غير الدقيق، وعدم القدرة على الضبط التلقائي، وتشغيل المعدات غير الآمن وغير الاقتصادي وغير العملي. يمكن لهذه المعدات أيضًا تحقيق الضبط التلقائي لمخرج بوليمر الأوزون وتركيز الأوزون وفقًا لمستوى أكاسيد النيتروجين في غاز العادم، مما يتجنب بشكل فعال المشاكل المفرطة الناجمة عن تقلبات أكسيد النيتروجين، ويوفر التكاليف بشكل فعال في ظل ظروف انخفاض أكسيد النيتروجين. يوفر هذا الجهاز معدات إزالة النتروجين تتسم بالكفاءة والتعاون وسهولة التركيب وبتكلفة مناسبة لصناعة صهر المعادن غير الحديدية في ظل ظروف غاز المداخن المنخفض الحرارة (40-180 درجة مئوية). حاليًا، تم الترويج لهذه المعدات واستخدامها على نطاق واسع.
في صناعة أشباه الموصلات الحديثة، تعد عملية التنظيف أمرًا بالغ الأهمية. تعتبر المواد شبه الموصلة حساسة للغاية للشوائب والملوثات الصغيرة، وأي تلوث صغير قد يتسبب في تدهور أداء المعدات أو فشلها. ومن أجل تلبية هذا المعيار العالي، من المهم بشكل خاص اعتماد تكنولوجيا التنظيف الفعالة. من بينها، تلعب مولدات الأوزون، باعتبارها معدات تنظيف فعالة وصديقة للبيئة، دورًا رئيسيًا في إنتاج أشباه الموصلات. ستقدم هذه المقالة بالتفصيل مولد الأوزون بقدرة 10 كجم/ساعة (أي 10 كجم من الأوزون في الساعة)، وتطبيقه في تنظيف أشباه الموصلات ومزاياه.
1. المبدأ الأساسي لمولد الأوزون
الأوزون (O3) هو جزيء يتكون من ثلاث ذرات أكسجين وله خصائص مؤكسدة قوية. يمكنه تحلل المواد العضوية بسرعة، وقتل البكتيريا والفيروسات من خلال الأكسدة، ويمكنه إزالة الملوثات المختلفة على السطح بشكل فعال. يقوم مولد الأوزون بتحليل جزيئات الأكسجين (O2) الموجودة في الهواء إلى ذرات أكسجين منفردة من خلال التفريغ عالي الجهد أو الأشعة فوق البنفسجية، ثم تتحد ذرات الأكسجين هذه مع جزيئات الأكسجين غير المتحللة لتكوين جزيئات الأوزون. عادةً ما تحتاج هذه العملية إلى تنفيذها في ظل ظروف محددة، بما في ذلك درجة الحرارة والرطوبة ومعدل تدفق الهواء المناسب.
2. ميزات التصميم لمولد الأوزون 10 كجم/ساعة
1. الكفاءة العالية والاستقرار
يستخدم مولد الأوزون 10 كجم/ساعة تقنية توليد الأوزون المتقدمة لضمان إمكانية إنتاج الأوزون عالي الجودة بشكل ثابت في ظل ظروف العمل المستمرة. تم تصميم هيكلها الداخلي بشكل معقول وتم تحسين قناة تدفق الهواء، مما يجعل كفاءة توليد الأوزون عالية للغاية مع تقليل استهلاك الطاقة. بالإضافة إلى ذلك، فإن المعدات لديها نظام تحكم ذكي مدمج يمكنه ضبط مخرجات الأوزون تلقائيًا وفقًا للاحتياجات الفعلية لضمان استقرار وموثوقية عملية التنظيف.
2. تدابير حماية السلامة
على الرغم من أن الأوزون يتمتع بقدرة تنظيف قوية، إلا أنه أيضًا غاز سام يجب التعامل معه بشكل صحيح. تم تصميم مولد الأوزون هذا مع مراعاة السلامة الكاملة وهو مجهز بإجراءات حماية السلامة المتعددة. على سبيل المثال، يتم تركيب مستشعر كشف تسرب الأوزون داخل الجهاز. بمجرد اكتشاف أن تركيز الأوزون زائد، سيتم تنشيط نظام الإنذار على الفور وسيتم قطع الطاقة تلقائيًا. وفي الوقت نفسه، تم تجهيز المعدات أيضًا بأجهزة مقاومة للانفجار وأزرار إيقاف الطوارئ لضمان إمكانية اتخاذ التدابير بسرعة في حالات الطوارئ لضمان سلامة الأفراد والمعدات.
3. سهولة الصيانة والتشغيل
من أجل تقليل تكاليف التشغيل وتحسين كفاءة استخدام المعدات، تم تصميم مولد الأوزون هذا مع الأخذ في الاعتبار سهولة الاستخدام وقابلية الصيانة. واجهة التشغيل للمعدات بسيطة وواضحة، ويحتاج المستخدمون فقط إلى تدريب بسيط لإتقان طريقة التشغيل. في نفس الوقت، تم تصميم الهيكل الداخلي للمعدات بشكل معقول لتسهيل الصيانة والتجديد اليومي. على سبيل المثال، المكون الأساسي لمولد الأوزون، أنبوب توليد الأوزون، يعتمد تصميمًا معياريًا، وهو سهل الفك والاستبدال، مما يقلل بشكل كبير من وقت الصيانة.
ثالثا. تطبيق مولد الأوزون 10 كجم/ساعة في تنظيف أشباه الموصلات
في إنتاج أشباه الموصلات، تتم عملية التنظيف خلال العملية بأكملها، بدءًا من معالجة المواد الخام وحتى تغليف المنتج النهائي، ويلزم التحكم الصارم في التنظيف في كل رابط. تم استخدام مولدات الأوزون 10 كجم/ساعة على نطاق واسع في تنظيف أشباه الموصلات لكفاءتها العالية وحماية البيئة.
1. تنظيف المواد الخام
قبل أن تدخل المواد الخام لأشباه الموصلات إلى خط الإنتاج، فإنها تحتاج إلى تنظيف صارم لإزالة الملوثات السطحية مثل الزيت والغبار. يمكن استخدام مولد الأوزون مع سائل التنظيف لتسريع عملية التحلل وإزالة الملوثات من خلال الأكسدة، وبالتالي تحسين كفاءة وجودة التنظيف.
2. تنقية بيئة الإنتاج
تتطلب بيئة إنتاج أشباه الموصلات متطلبات عالية للغاية فيما يتعلق بالنظافة، وأي ملوثات صغيرة قد تؤثر على جودة المنتج. يمكن لمولد الأوزون تطهير بيئة الإنتاج بانتظام بالأوزون، وإزالة البكتيريا والفيروسات والكائنات الحية الدقيقة الأخرى والملوثات العضوية في الهواء بشكل فعال، والحفاظ على نظافة بيئة الإنتاج.
3. تنظيف سطح المعدات
يكون سطح معدات إنتاج أشباه الموصلات عرضة للغبار والملوثات، والتي قد تدخل المنتج أثناء تشغيل المعدات وتسبب عيوبًا. إن استخدام مولد الأوزون لتنظيف سطح الجهاز يمكن أن يزيل الملوثات بسرعة دون الإضرار بسطح الجهاز.